低温等离子体是继固态、液态换个气态之后的第四态；当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿产生包括电子和各种离子、原子和自由基在内的混合体。废气中的污染物质与这些具有较 量的物质发生反应使污染物在端的时间内发生分解，并发生后继的各种反应已达到降解污染物的目的。
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